应用案例
使用单个亚波长孔径聚焦
亚波长光学器件在光场调控和光子集成领域具有广阔的应用前景。聚焦型亚波长光学器件,能够有效提升光的方向性与能量集中度,在微纳尺度下实现远场聚焦,为高分辨率成像、近场探测以及光通信中的高效耦合提供了新的可能。然而,在亚波长尺度下,光会发生强烈的干涉和衍射,使得聚焦变得困难。Garcia-Vidal 等人提出了一种结构:在金属薄膜中开设单一亚波长孔径,并在孔周围引入表面沟槽,通过激发表面等离激元实现远场聚焦。本案例对该结构进行了建模仿真,并对焦斑宽度进行了分析,以展示其聚焦性能。
基于PB相位的超透镜
传统的曲面光学透镜对光线的调控依赖于沿着光路的相位积累,因此会受到自然材料折射率的限制。为了修正各种图像像差,通常需要多个透镜组合。然而多个光学透镜的组合会占用大量的空间,使得光学系统难以小型化。而超透镜通过电介质表面上的人造亚波长单元的排列组合来操纵入射光,使光束弯曲。只需要一个超透镜,就能实现与需要多个光学透镜的设备同样的性能。与传统光学透镜相比,超透镜体积小、重量轻、成本低、成像好以及更易集成等优点,为紧凑集成的光学系统提供了新的解决方案。本案例基于夏习成和姚赞的研究,介绍了如何使用FDTD进行超透镜的仿真,帮助读者实现光学系统的微型化。
使用交替相移掩模的光刻技术
对更小、更快、更低功耗半导体器件的需求不断推动着光学光刻技术的进步。随着半导体器件尺寸的不断缩小,例如在45nm节点一些需要成像的特征小于所用的193nm光源波长的四分之一,需要使用交替相移掩模(APSM)来提高分辨率。这种尺度会导致严重的邻近效应,需要通过光刻仿真来了解这些效应,以便在掩模设计中将其考虑在内,从而实现可预测和可靠的工艺。本案例展示了如何在FDTD中使用交替相移掩模(APSM)对亚波长特征进行成像。
负折射率传输线移相器
Antoniades等人提出了一种新型负折射率(NRI)的共面波导(CPW)传输线(TL),它可以用在传统传输线后进行相位补偿,使得设计频率经过所有传输线传播后实现正、负或零相移。其负折射率超材料部分由集总元件电容器和电感器组成,集总元件值的微小变化能在不改变总长度的情况下,改变传输线的相位特性。因此,其优点是体积小、结构简单、易于制作平面微波电路,在设计频率附近表现出线性相位响应。本案例参考了Antoniades等人的论文,建模仿真了工作频率 f=1GHz 的零相移NRI-TL。
同轴馈电矩形贴片天线
同轴馈电矩形贴片天线是最基本的微带天线,由介质基板、接地板、导体薄片组成。相比于传统天线,同轴馈电矩形贴片天线不仅体积小,重量轻而且易集成,成本低,适合批量生产。本案例使用FDTD仿真了一个安装在无限金属地平面上的矩形贴片天线,计算了它的回波损耗和远场方向性。
能激发塔姆等离激元的光栅
在2007年,Kaliteevski等人在金属和布拉格光栅之间成功激发塔姆等离激元。塔姆等离激元的色散曲线位于光锥内,可以直接被激发,同时,其对光的入射角度没有要求并且TE或者TM偏振光都可以激发。这些特性使得其在表面光增强、非线性光学以及激光等领域有着广阔的发展潜力,本案例将仿真研究该过程。
硅纳米线阵列波导光栅
阵列波导光栅是密集波分复用系统中的关键器件,随着大规模光子集成器件的发展,阵列波导光栅的小型化设计成为了重要的课题。本案使用 SimWorks光学有限差分解决方案的 2.5D-FDTD 求解器例建模仿真了一个马鞍型硅纳米线阵列波导光栅,并计算了其输出的频谱响应与损耗。











