RCWA仿真控制面板

Rigorous Coupled-Wave Analysis (RCWA)求解器仿真控制面板

RCWA仿真控制面板

本节介绍严格耦合波分析 (Rigorous Coupled-Wave Analysis, RCWA) 求解器的仿真控制面板。

RCWA求解器是一种基于严格耦合波分析的半解析仿真工具,用于高效、精确地分析平面波入射到具有面内周期性图案的多层结构(如衍射光栅、超表面和光子晶体)时的光学响应,包括反射率、透射率、衍射效率及内部场分布。

其控制面板各按钮功能如下图所示:

Name Description
Design To Design 切换回设计视图,以访问结构创建和求解器设置等工具。
Graphics Translucent 设置结构的透明度;1 代表不透明,0 代表完全透明。
Hide Materials 隐藏视图中的材料结构;勾选后启用。
Hide Fields 隐藏视图中的场分布;勾选后启用。
Progress Status 显示当前仿真状态与进度。
Tool 控制仿真数据文件的打开与清除。

RCWA 功能区

RCWA 功能区提供运行控制和组件添加功能,各按钮功能如下图所示:

Name Description
Run To Run 运行 RCWA 仿真,并自动切换到仿真控制面板。
Monitors RCWA Field 添加 RCWA Field 组件,用于记录仿真区域内电磁场的空间分布。
Mesh Mesh 添加自定义网格,用于对特定区域进行更精细的网格划分。

RCWA Field

RCWA Field 用于记录仿真区域内电磁场的空间分布。仿真完成后,可通过该组件查看多层结构的内部场分布,便于分析光场在结构内的传播与局域情况。

点击 RCWA Field 按钮添加组件后,在弹出的编辑属性窗口中进行设置,包含 GeneralGeometry 两个标签页。

  • General 标签页用于设置记录的场分量。

  • Geometry 标签页用于设置记录区域的位置、范围以及各方向的网格点数。

下图展示了平面波入射下纳米棒结构上方的场分布:

网格

Mesh 按钮用于在 RCWA 仿真区域内添加自定义网格,对特定区域进行更精细的网格划分。自定义网格的详细设置请参考自定义网格的设置